Tu sei qui: Home Sezioni Dipartimento Personale Docenti Marco Fanciulli

Marco Fanciulli

Professore ordinario

Via Roberto Cozzi, 55
tel.:  02.6448.5034/5184
Riceve previo appuntamento.
e-mail:  marco.fanciulli@unimib.it
web page:

Curriculum Vitae

  • Laurea in Ingegneria Nucleare, 110/110 e Lode, Febbraio 1987, Politecnico di Torino, Torino, Italia
  • Research Assistant,  Settembre 1990 – Settembre 1993.  Boston University, Physics Department and Electrical Engineering Department
  • Ph.D. (Applied Physics), “with distinction”, Settembre 1993, Boston University
  • Assistant Research Professor, ottobre 1993 – settembre 1997. Institute of Physics and Astronomy, Aarhus University, Aarhus, Denmark ed ISOLDE Collaboration, CERN, Geneva, Svizzera
  • Associate Professor, ottobre 1997 – giugno 1998. Institute of Physics and Astronomy, Aarhus University, Aarhus, Denmark
  • Primo Ricercatore INFM, Giugno 1998 – Dicembre 2001. Direttore del Laboratorio MDM – INFM presso STMicroelectronics, Agrate Brianza
  • Dirigente di Ricerca INFM/CNR, dicembre 2001 – settembre 2007. Direttore del Laboratorio Nazionale MDM- CNR-INFM presso STMicroelectronics, Agrate Brianza
  • Professore Straordinario (FIS/03) ottobre 2007 – settembre 2010 presso il Dipartimento di Scienza dei Materiali, Università degli Studi di Milano – Bicocca e Direttore del Laboratorio Nazionale MDM- CNR-INFM presso STMicroelectronics, Agrate Brianza.
  • Professore Ordinario (FIS/03) ottobre 2010 – oggi presso il Dipartimento di Scienza dei Materiali, Università degli Studi di Milano – Bicocca e Direttore del Laboratorio Nazionale MDM- CNR-IMM presso STMicroelectronics /Micron, Agrate Brianza.

Didattica

  • Anno Accademico 1997/1998

Lektor del corso su “Difetti nei materiali cristallini”, IFA Università di Aarhus, Danimarca.

  • Anni Accademici 2000/2001, 2001/2002, 2002/2003

Professore incaricato di Fisica dei Semiconduttori I e II, due moduli semestrali presso l’Università Statale di Milano, Dipartimento di Fisica.

  • Anni Accademici 2003/2004, 2004/2005, 2005/2006

Professore incaricato di Fisica dei Semiconduttori, modulo semestrale presso l’Università Statale di Milano, Dipartimento di Fisica.

  • Anno Accademico 2006/2007

Professore incaricato di Tecnologia dei semiconduttori (2 Cr), parte del corso di Fisica dei Semiconduttori, presso l’Università degli Studi di Milano – Bicocca, Dipartimento di Scienza dei Materiali

  • Anno Accademico 2007/2008

Professore Straordinario, Università di Milano Bicocca, affidamento dei corsi di:

-          Fisica e tecnologia dei semiconduttori (4 Cr.) (LM SdM)

-          Laboratorio di Fisica dei Materiali II (4 Cr.) (LM SdM)

  • Anno Accademico 2008/2009

Professore Straordinario, Università di Milano Bicocca, affidamento dei corsi di:

-          Semiconduttori Modulo II (4 Cr.) (LM SdM)

-          Dispositivi Nanoelettronici (4 Cr.) (LM Fisica)

  • Anno Accademico 2009/2010

Professore Straordinario, Università di Milano Bicocca, affidamento dei corsi di:

-          Semiconduttori Modulo II (4 Cr.) (LM SdM)

-          Dispositivi Nanoelettronici (4 Cr.) (LM Fisica)

-          Materiali e Processi per la Nanolettronica e Spintronica (4 Cr.) (LM SdM)

  • Anno Accademico 2010/2011

Professore Ordinario, Università di Milano Bicocca, affidamento dei corsi di:

-          Semiconduttori Modulo II (4 Cr.) (LM SdM)

-          Dispositivi Nanoelettronici (4 Cr.) (LM Fisica)

-          Materiali e Processi per la Nanolettronica e Spintronica (4 Cr.) (LM SdM)

  • Anno Accademico 2011/2012

Professore Ordinario, Università di Milano Bicocca, affidamento dei corsi di:

-          Fisica dei Semiconduttori (6 Cr.) (LM SdM)

-          Dispositivi Nanoelettronici (4 Cr.) (LM SdM)

-          Materiali e Processi per la Nanolettronica e Spintronica (4 Cr.) (LM SdM)

  • Anno Accademico 2012/2013

Professore Ordinario, Università di Milano Bicocca, affidamento dei corsi di:

-          Fisica dei Semiconduttori (6 Cr.) (LM SdM)

-          Dispositivi Nanoelettronici (4 Cr.) (LM SdM)

-          Superfici ed Interfacce (4 Cr. Di cui due assegnati al Dr. Alessandro Molle) (LM SdM)

  • 1997-2013

Ha tenuto inoltre  numerose lezioni a scuole nazionali ed internazionali sulla fisica dei semiconduttori, sui dispositivi elettronici e spintronici  emergenti, sulle tecniche avanzate di risonanza di spin elettronico e spettroscopia Mössbauer.

Attività di Ricerca

Le principali attività di ricerca ed interessi professionali riguardano lo sviluppo di materiali con diverse funzionalità dedicati a dispositivi di logica e memoria, per la trattazione classica e quantistica dell’informazione. Tali materiali trovano applicazione in dispositivi nanoelettronici, spintronici e neuroelettronici. Parallelemente si occupa dello sviluppo di tecniche analitiche spettroscopiche, principalmente basate sullo spin elettronico, sul trasporto, ed ottiche, per la caratterizzazione di nanostrutture e dispositivi sui quali effettuare anche studi di natura più fondamentale.

Sinteticamente le attività di ricerca svolte rigurdano:

  • Crescita e caratterizzazione di semiconduttori a largo gap (GaN, BN, Diamante) ed amorfi (Si, Ge, SiGe, SiGeSn)
  • Crescita e caratterizzazione di metalli (siliciuri e germaniuri)
  • Crescita e caratterizzazione di ossidi (high-k)
  • Materiali, processi, e tecniche analitiche per dispositivi microelettronici ultra-scalati (MOSFET e memorie non volatili Flash)
  • Materiali, processi, e tecniche analitiche per dispositivi nanoelettronici emergenti (memorie non volatili innovative, dispositivi neuroelettronici)
  • Materiali, processi, e tecniche analitiche e fisica fondamentale per dispositivi spintronici (Giunzioni tunnel magnetiche, qubits in silicio)

 

Oggi la attività di ricerca si concentra sullo sviluppo di tecniche di nanofabbricazione (nanofili di silicio e germanio, 2D nanosheets di silicio, drogaggio), sviluppo di tecniche di caratterizzazione basate sulla risonanza di spin elettronico, sviluppo di dispositivi nanoelettronici, spintronici e per applicazioni neuroelettroniche.

Principali pubblicazioni

  1. S. Baldovino, A. Molle, M. Fanciulli, "Evidence of dangling bond electrical activity at the Ge/oxide interface", Appl. Phys. Lett. 93, 242105 (2008)
  2. M. Pierre, R. Wacquez, B. Roche, X. Jehl, M. Sanquer, M. Vinet, E. Prati, M. Belli, M. Fanciulli, "Compact silicon double and triple dots realized with only two gates",  Appl. Phys. Lett. 95, 242107 (2009)
  3. D. Tsoutsou, L. Lamagna, S. N. Volkos, A. Molle, S. Baldovino, S. Schamm, P. E. Coulon, M. Fanciulli, "Atomic layer deposition of LaxZr1−xO2−d (x=0.25) high-k dielectrics for advanced gate stacks", Appl. Phys. Lett. 94, 053504 (2009)
  4. M .Perego, M. Fanciulli, C. Bonafos, "Phosphorous-doping of ultra-small silicon nanocrystals", Nanotechnology 21, 025602 (2010)
  5. M. Fanciulli, A. Vellei, C. Canevali, S. Baldovino, G. Pennelli, M. Longo, “Electrically Detected Magnetic Resonance of Donors and Interfacial Defects in Silicon Nanowires”, Nanoscience and Nanotechnology Lett. 3, 568 (2011)
  6. G. Petretto, A. Debernardi, M. Fanciulli , "Confinement Effects and Hyperfine Structure in Se Doped Silicon Nanowires" , Nano Letters 11, 4509–4514 (2011)
  7. M. Belli, M. Fanciulli, N. V. Abrosimov , "Pulse electron spin resonance investigation of bismuth-doped silicon: Relaxation and electron spin echo envelope modulation" , Phys. Rev. B 83, 235204 (2011)
  8. D. Chiappe, C. Grazianetti, G. Tallarida, M. Fanciulli, A. Molle , "Local Electronic Properties of Corrugated Silicene Phases" , Advanced Materials 24, 5088 (2012)
  9. C. Wiemer, L. Lamagna, M. Fanciulli , "Atomic layer deposition of rare-earth-based binary and ternary oxides for microelectronic applications" , Semiconductor Science and Technology 27, 074013 (2012)
  10. G. Mazzeo, E. Prati, M. Belli, G. Leti, S. Cocco, M. Fanciulli, F. Guagliardo, G. Ferrari, "Charge dynamics of a single donor coupled to a few-electron quantum dot in silicon" , Appl. Phys. Lett. 100, 213107 (2012)

Note

  • Direttore del Laboratorio MDM, dell’IMM-CNR, presso STMicroelectronic, Agrate Brianza
  • Expert advisor NMP Program Committee European Commission
  • Chair di diversi workshops e simposi (E-MRS, MRS, ESF)