[ Home ]

Tescan VEGA TS 5136XM

Descrizione della tecnica :

La Microscopia Elettronica a Scansione (SEM) permette di ottenere, da un opportuno campione, immagini tridimensionali ad alta risoluzione (~5 nm) mediante scansione di un fascio di elettroni in una piccola area del campione in esame. Tutti gli effetti che si producono nel punto di impatto del fascio possono essere utilizzati, tramite appositi rivelatori, per produrre un contrasto, quindi l'immagine. Inoltre l'analisi dei raggi X prodotti permette di effettuare analisi composizionale ad alta risoluzione spaziale (microanalisi). Il campione da esaminare deve essere conduttivo. Nel caso in cui il campione sia non conduttivo è possibile depositare un sottile film di oro in modo da rendere possibile la visione. Il microscopio disponibile presso il nostro laboratorio permette la visione di campioni non conduttivi anche in assenza di una copertura mediante un film di oro grazie all’opportunità di lavorare in condizioni di pressione variabile e mediante l’utilizzo dell’esclusivo rivelatore LVSTD.

Applicazioni generali:

Si tratta di una tecnica molto generale che trova applicazione sia in campo biologico che nella scienza dei materiali ogni qualvolta si renda necessario visualizzare strutture a forte ingrandimento (da 10X a 500.000X). Particolarmente importante, soprattutto nel campo delle scienze dei materiali, è la possibilità di effettuare una analisi composizionale con risoluzione spaziale dell'ordine del micron.

Strumento disponibile:

VEGA TS 5136XM in pressione variabile (5x10^-3- 500 Pa)

L’ampia dimensione della camera [300 mm (lunghezza) x 250 mm (profondità)x 280 mm (altezza)] permette l’analisi di campioni massivi.

Tecniche disponibili :

• Elettroni Secondari (SE): informazioni prevalentemente morfologiche
• Low Vacuum Secondary Tescan Detector (LVSTD): informazioni morfologiche in pressione variabile (applicazione su materiali non conduttivi o biologici)
• Elettroni retrodiffusi (BSE): informazioni morfologiche/composizionali a bassa risoluzione
• Electron Beam Induced Current (EBIC): studio di proprietà elettriche delle giunzioni su semiconduttore
• Spettroscopia a dispersione di energia di raggi X (X-EDS): informazioni composizionali qualitative e quantitative su elementi. Possibilità di acquisire ed elaborare immagini relative alla distribuzione di elementi all'interno di un'area (mappe)

Applicazioni tecnologiche ed industriali:

• Industria metallurgica, tessile, chimica, biomedicale etc.
• Problematiche ambientali
• Componentistica elettronica e microelettronica

Industria chimica – Al₂O₃                                     Industria del legno

Circuiti integrati                                                                  Finitura delle superfici

 L’utilità della pressione variabile è messa in evidenza da queste immagini di valvole di automobile raccolte in diverse condizioni. Una visione dell’oggetto in alto vuoto (immagine a) è fortemente influenzata dalla diversa conducibilità dei componenti riducendone i dettagli. L’immagine (b) raccolta a 15 Pa è in grado di fornire maggiore dettagli dell’oggetto grazie al ridotto effetto di carica della superficie del campione (il campione non ha richiesto preparazione specifica).

a)                                                                               b)

Inviare a maurizio.acciarri@unimib.it un messaggio di posta elettronica contenente domande o commenti su questo sito Web.
Ultimo aggiornamento: 02-03-06